HVT Eckventile

Die Eckventile der Baureihe HVT sind eine Weiterentwicklung der Baureihe PVA (Plattenventile der ehemaligen Balzers AG).

Die Konstruktion zeichnet sich durch die patentierte Ventilmechanik aus. Anders wie bei vergleichbaren Ventilen wird der Ventilteller nur leicht angehoben und danach um 90° seitlich gekippt. Diese Mechanik reduziert den erforderlichen Hub und damit die Bauhöhe des Ventils, wobei der maximale Leitwert beibehalten werden kann.

Die Antriebsstange ist gegen Atmosphärendruck Membranbalg gedichtet und daher vakuumseitig völlig frei von Kohlenwasserstoffen und Schmiermittel. Im Vergleich zu handelsüblichen Ventilen mit Kolbenstangen-Antrieb ist die Gesamthöhe mindestens 30 % geringer.

Mittels Schraubverbindungen am Ventilteller und am Gehäusedeckel sind der Federbalg und die Hebelmechanik auf der Vakuumseite für Reinigungsarbeiten leicht zugänglich. Das Ventil ist weitestgehend wartungsfrei und benötigt keinerlei Einstellarbeiten nach erfolgten Reinigungs- oder Revisionsarbeiten.

Das Gehäuse ist in einer gekühlten oder ungekühlten Ausführung erhältlich. In Verbindung mit einer Diffusionspumpe reduzieren gekühlte Gehäuse zusätzlich den Ölstrom in die Vakuumkammer.

Die Innenseite kann zur Reduktion der Prozesswärmestrahlung schwarz beschichtet werden. Diese Massnahme reduziert die absorbierte Wärmestrahlung einer angehängten Kryopumpe und erhöht deren Saugleistung bzw. Kapazität. Die Ausführung mit der Drosselstellung des Ventiltellers reduziert den Leitwert des Ventils. So können höhere Prozessdrücke als der kritische Schwellenwert der Vakuumpumpe gefahren werden, wie dies z.B. beim Sputtern mit Argon der Fall ist.