Zubehör

HSR Kryopumpen können individuell und mit einer Vielzahl an Zubehör ausgestattet werden. Ein wichtiger Faktor ist die Regenerationsdauer, d.h die Dauer für das Auftauen der Pumpe auf Umgebungstemperatur. Wir unterscheiden vier Hauptausführungen: Basic ohne Regenerationszubehör, Classic, Standard und Performance. Wie die verschiedenen Ausführungen bezüglich Regenerationsdauer abschneiden sehen Sie hier

Kühlkopfheizung (Performance)

Die Kühlkopfheizung HDL 210 heizt den Kühlkopf an den beiden Temperaturstufen auf. Durch diese sehr effiziente Methode können die kürzesten Regenerationszeiten für zeitkritische Prozesse erreicht werden. Je nach Anwendung kann die Funktion der Teilregeneration genutzt werden.

  • 450 W (1. Stufe) und 70 W (2. Stufe) Heizleistung für kürzeste Regenerationszeiten
  • Keine spannungsführenden Teile mit Kontakt zum Vakuum
  • DC Stromquelle PUR 250 ermöglicht eine unabhängige Regelung der beiden Stufen
  • H-Bus Anbindung vom PUR 250 auf die HSR Steuerung HCC 200/220
  • Interlock für Temperatur kritische Anwendungen
Heizpatrone (Standard)

Die HSR Heizpatrone HCH 201 ist eine vom Vakuum hermetisch getrennte Heizung mit integriertem PT100. Sie ist die Standardlösung für unterstützte Regeneration. Durch die mechanische Verbindung mit der 1. Stufe der Kryopumpe werden kurze Regenerationszeiten erreicht.

  • Version in DN 25 (125W) und DN 40 (200W) verfügbar
  • Wegen Kapselung Betrieb mit korrosiven oder reaktiven Gasen möglich
  • Austausch Heizelement und PT100 ohne Demontage der Kryopumpe im aufgetauten Zustand möglich
  • Stromversorgung über das Kryo Steuergerät CBO 201 oder CBR 200 mit Überhitzungsschutz
  • Mit CBR 200 oder CBO 050 PID-Regelung der 1.Stufe möglich
Gehäuseheizung (Classic)

Die Gehäuseheizung ist die älteste Methode zur unterstützen Regeneration der Kryopumpe. Sie wird ausschliesslich zusammen mit dem Spülgasventil eingesetzt. Die Wärmeübertragung findet über das eingelassene Gas (Stickstoff oder trockene Luft) statt. Das Heizen der Gehäusewand verhindert zudem die Kondensation der Luftfeuchtigkeit und die Bildung von Eis an der Aussenseite.

  • 230 V Stromversorgung über das Kryo Steuergerät CBO 200 oder CBR 200
  • Integrierte Bimetall-Regelung bei 60 °C
  • Integrierter Schutzschalter bei 100 °C
  • Jederzeit ohne Demontage der Kryopumpe nachrüstbar 
Spülgas Ventil

Das Spülgas Ventil wird für die schnelle Regeneration von Kryopumpen verwendet. Es ist eine Alternative zur Regeneration mit der Heizkapsel. Durch den Druckanstieg in der Pumpe verbessert sich die Wärmekonvektion und die Innenteile wärmen sich schneller auf. Die freigewordenen Gase werden fortlaufend oder abwechselnd durch die Vorvakuumpumpe abgepumpt.

  • Stromversorgung 24 VDC (8W), alle gängigen Spannungen auf Anfrage verfügbar
  • Anschluss Vakuumseite ISO-KF DN 16
  • Gasanschluss Klemmringverschraubung 1/4″
  • Gasanschluss max. 8 bar
  • Dichtung FKM
Kryo-Temperaturmonitor

HSR bietet neben der HCC und HSC Steuerungen auch ein vereinfachtes Temperatur-Messsystem an. Das HTM-Anzeigegerät kann in ein beliebiges Frontblech eingebaut werden und bietet so eine optimale Ablesemöglichkeit. Das Gerät wird vor der Auslieferung auf die Kundenanwendung eingestellt und ist sofort einsatzbereit.

  • Für alle gängigen HSR Sensoren
  • Universal Stromversorgung 24-230 V AC/DC
  • 1 oder 2 Kanal Variante verfügbar
  • 2 Relaiskontakte mit 4-20 mA oder 0-10 V Ausgängen
  • Einstellbare Anzeigebalken
Kryo-Temperatursensoren

HSR verarbeitet seit über 20 Jahren eigene Sensoren. Die verwendeten Stecker, die 4-Leiter Messtechnik sowie die robuste Montagemöglichkeit machen das Konzept universell und einzigartig. Der Systemgedanke geht vom Sensor über die Messstromdurchführung bis hin zur Messelektronik.

  • KTS: linearisierter Dehnmessstreifen 2 K – 315 K, sehr gute Wiederholbarkeit
  • KTP: platinbasierter Sensor 25 K – 500 K, sehr robust und kosteneffizient
  • KTC: Lakeshore CERNOX® Sensor 0.1 K – 420 K, exzellent bei Magnetfeld und Strahlung
  • Ausführung der Leiter im Vakuum in PTFE, Kapton® und PEEK verfügbar
  • Unkalibriert, 2-Punkte-Kalibierung oder komplette Kalibrierkurve verfügbar
Service Adapter Set

Adapterblock für die Wartung und den Service von Kryopumpen: Evakuieren, Belüften und Befüllen von Kühlköpfen, Flexlines und Helium-Kompressoren mit hochreinem Helium 4.6 (99.996 %). 

  • Durckreduzierventil
  • Anschlussschlauch zur Heliumflasche
  • Flexline Anschluss zu Kompressor und Kühlkopf
Flexlines

Die flexiblen Metallschläuche bestehen aus einem geschweissten Wellbalg mit einer Metallarmierung. Sie verbinden den Heliumkompressor mit dem Kühlkopf im geschlossenen Heliumkreislauf. 

  • Längen 1.5 bis 25 m
  • Durch Reihenschaltung über 100 m möglich
  • Nennweiten 16mm für Kompressor F-70H, Nennweite 20 mm für Kompressor F-70HP
  • Aeroquip® Kupplungen